SF6氣體中微水含量是影響其絕緣性能的關鍵指標之一，因此在對SF6氣體絕緣設備的例行試驗中應檢查所使用SF6氣體中微水含量的變化。CMS-III型微水儀用來測量被檢測氣體的露點溫度值，並通過此數值計算SF6氣體的中的微水含量，從而判斷SF6氣體的微水值是否超標。

便攜式設計：儀器更輕，攜帶、使用方便。

測量快速：儀器開機後無需等待，即刻測量，快速得到濕度值。

快速省氣：整個測量過程氣體消耗僅2L（101.2kPa）左右。

自鎖接頭：采用德國原裝進口自鎖接頭，安全可靠，無漏氣。

顯示清晰：液晶屏直接顯示露點、微水（ppm）、環境溫度、環境濕度、時間及日期、電池電量等內容。

內置電源：內置大容量可充锂電池，一次充足可連續工作10小時。

RS232接口：可與串口打印機相連，進行數據打印。